【摘 要】
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可以概括地说，减少真空泵和真空室连接件中的气流损失就可以改进涡轮分子泵的抽速。 使用另外的与涡轮分子泵相适应的超高真空泵系统来降低其极限压强是一种合适的方法。 有时
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可以概括地说，减少真空泵和真空室连接件中的气流损失就可以改进涡轮分子泵的抽速。 使用另外的与涡轮分子泵相适应的超高真空泵系统来降低其极限压强是一种合适的方法。 有时降低前级真空端氢的分压强也能降低极限压强。
In summary, reducing the gas flow losses in the vacuum pump and vacuum chamber connections can improve the pumping speed of the turbomolecular pump. Using an additional ultra-high vacuum pump system compatible with turbomolecular pumps to reduce the ultimate pressure is a suitable method. Decreasing the partial pressure of hydrogen at the anterior vacuum may also reduce the ultimate pressure.
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