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利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜。对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀,可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜。分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响,获得了适合薄膜太阳能电池的绒面Zn0透明导电薄膜。当压力控制在1.92Pa左右,衬底温度150-170℃范围内沉积的薄膜具有最佳的绒面和较低的电阻率,电阻率可达5.57×10^-4Ω·cm,载流子浓度2.2×10^20cm^-3,霍尔迁移率40.1cm^2/V·s,在可见光范围平均透过