石英谐振器不同谐振频率的力敏特性研究

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圆形晶片的厚度切变石英谐振器是常用的力敏谐振器。它有固定的设计谐波次数和谐振频率。文章介绍了以设计频率为三次谐波、5MHz的AT-切型谐振器为力敏元件的力传感器在不同电路中分别振动在基频、3次谐波、5次谐波和7次谐波四个谐振频率,并对其力敏特性进行了实验研究。分析了用提高谐振频率的方法提高力灵敏度的可行性的局限性。根据石英谐振器振动在不同谐振频率时力灵敏度的温度特性,找到了温度变化时由力灵敏度温度
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