【摘 要】
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Electrically active defects in the phosphor-doped single-crystal silicon induced by helium-ion irradiation under thermal annealing were investigated. In the exp
【出 处】
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IMP & HIRFL Annual Report
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Electrically active defects in the phosphor-doped single-crystal silicon induced by helium-ion irradiation under thermal annealing were investigated. In the experiment,n-type(0.6～0.79 Ωcm),Czochralski-
Electrically active defects in the phosphor-doped single-crystal silicon induced by helium-ion irradiation under thermal annealing were investigated. In the experiment, n-type (0.6-0.79 Ωcm), Czochralski-
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