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微系统技术融合了微电子、微机电和微光电技术,以系统架构和算法为核心,实现具备信号感知、信息处理、信令执行、互联通信和能源供给的一体化软、硬件多功能系统,并采用微纳制造及微集成工艺实现系统结构的微纳尺度化.它被公认为21世纪的革命性技术之一.
编者按
【摘 要】
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微系统技术融合了微电子、微机电和微光电技术,以系统架构和算法为核心,实现具备信号感知、信息处理、信令执行、互联通信和能源供给的一体化软、硬件多功能系统,并采用微纳
【机 构】
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中国航天科技集团有限公司第九研究院第七〇四研究所微系统集成与应用创新中心
【出 处】
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遥测遥控
【发表日期】
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2021年5期
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