【摘 要】
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随着航空航天技术以及微电子机械系统(MEMS)的发展和广泛应用,稀薄气体流动的研究越来越被重视.稀薄气体流动中涉及到稀薄效应问题,在传统流体力学中可忽略的一些影响因素,比
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随着航空航天技术以及微电子机械系统(MEMS)的发展和广泛应用,稀薄气体流动的研究越来越被重视.稀薄气体流动中涉及到稀薄效应问题,在传统流体力学中可忽略的一些影响因素,比如表面力,面容比,梯度参数效应等变得重要起来.由于尺度效应、表面效应等因素的影响,稀薄气体流动表现出自己的特点:流动涉及的表面积与体积之比增强、梯度参数效应,表面效应,流体极性等.针对微电子机械系统,对稀薄气体流动的研究现状进行了综述,并对其特点进行了分析.
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