【摘 要】
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化学机械磨削（Chemo-Mechanical Grinding ，简称 CMG）技术是超精密加工领域诞生的新技术，在 IC 领域作为 CMP 的替代工艺，具有清洁、节能、一站式、无损伤、更好的表面质量等优点，
【机 构】
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国防科技大学 机电工程与自动化学院学院
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化学机械磨削（Chemo-Mechanical Grinding ，简称 CMG）技术是超精密加工领域诞生的新技术，在 IC 领域作为 CMP 的替代工艺，具有清洁、节能、一站式、无损伤、更好的表面质量等优点，已经成功应用于集成电路领域单晶硅基片的超精密无损伤加工，以及光学材料如石英玻璃等的超精密无损伤加工。本文综述了 CMG 技术的发展历程，指出了 CMG 研究的机构团队，介绍了当前 CMG 技术的全面加工能力。
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