光学计量中的光电技术

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1.前言所谓光学计量,广义上讲是包括长度或角度等机械量,及光能方面的光测技术。本文以测量显微镜和投影仪等为重点,叙述精密测量领域内有关光学计量方面的应用。近年来,许多部门对计量工作实行自动 1. Introduction The so-called optical metrology, broadly speaking, including the length or angle of the amount of machinery, and light energy measurement technology. This article focuses on measurement microscopes and projectors, and describes the application of optical metrology in the area of ​​precision measurement. In recent years, many departments have implemented automatic measurement work
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