论文部分内容阅读
1前言超精密加工是指亚微米级和纳米级精度的加工。超精密加工主要包括3个领域：（1）超精密切削加工，如金刚石刀具的超精密切削，各种镜面及激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。（2）超精密磨削和研磨加工，如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。（3）超精密特种加工，如对大规模集成电路芯片图形的电子束、离子束刻蚀加工，线宽可达0．1um。还有对扫描隧道电子显微镜（STM）加工，线宽可达2～5nm。