纳米级精度相关论文
为了获得更高的测量精度和最小的测量不确定度,在进行纳米级测试任务过程中,人们需要对环境进行更严格的测试及控制,如空气压力、......
在光刻机的研发和制造过程中,最重要的课题之一就是设计制造出满足纳米加工需求的超高精度微位移机构。纳米加工技术的发展,尤其是各......
该论文在对纳米技术及高精度激光位移测量技术的发展现状作出全面分析研究的基础上,提出了耦合差动式干涉的新方法,并依此研制出一......
三维测量系统广泛应用于现代工业,特别是在精密制造技术中,三坐标测量机占有主导作用。随着测量精度的不断提高,特别是纳米级精度......
1前言超精密加工是指亚微米级和纳米级精度的加工。超精密加工主要包括3个领域:(1)超精密切削加工,如金刚石刀具的超精密切削,各种镜面......
据报道,使用特定波长的激光射线可以向单个细胞内注射多种不同物质,但人们还不知道活体细胞接受这种注射时会产生什么反应。伦西里尔......
本文采用合成波长干涉条纹细分原理,提出激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制,以检测参考镜毫米或微米级的位移来表征测量镜纳米......
上海机床厂有限公司派出技术人员在美国乔治亚理工学院的技术分中心成功研制出了纳米级精度微型数控磨床ELITE。该磨床外型尺寸仅2......
纳米技术是20世纪80年代末诞生并在蓬勃发展的一种高新科学技术,本文对纳米技术在机加工中的应用从概念及应用上作了分类综述。......
日前,上海机床厂有限公司申报并获得“高档数控机床与基础制造装备”国家科技重大专项课题项目之一的“2MNKA9820纳米级精度微型数......
作者:蒲华燕 毕业学校:华中科技大学 指导教师:陈学东 罗欣 超精密隔振系统是精密制造、测量装备纳米级精度生成的必要保障。它通过隔......
介绍了一种新型的纳米级精度的二维激光干涉测量系统.该系统以光学8倍频的耦合差动式干涉光路为基础,在获取大量测量数据的基础上,......
以色列的研究人员们已开发了一种在单次曝光深度分辨全息成像过程中使视场加倍的方法。特拉维夫大学的Pinhas Girshovitz和Natan S......
介绍了一种新型的主级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用,该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”,其结构......
北京工研精机股份有限公司NANO-TM500超精密纳米级精度车铣复合加工机床该机床主轴为采用高精度空气轴承的整体电主轴,带有Cs轴功能......
纳米加工是指达到纳米级精度、尺度和效率的加工。纳米加工技术是为了适应微电子及纳米电子技术、微机械电子系统(MMES)的发展而迅......
ETEL公司是约翰内斯·海德汉博士有限公司旗下的子公司。ETEL主要产品有:直线电机、力矩电机、运动控制和运动系统。TMK系列力......
从材料、几何结构、柔性铰链、驱动器、运动与负载及加工等几个方面总结了面向精密作业的柔性机器人设计准则.对柔性机器人的设计......
天津天大智泰科技有限公司生产的LM系列激光干涉测头,属予精密测长仪器,是可在0-20mm或0-50mm范围内实现纳米级精度接触式长度测量的......
采用基于广播总线的同步采样技术,提出6轴高精密XY工件台激光位移测量的同步测量架构.设计专门的同步动作控制器和同步信号总线,实现6......