【摘 要】
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全球光掩膜检测技术的领军者KLA-Tencor近日宣布,推出TeraScanHR系统——业内首套新一代45纳米生产级光掩膜检测系统。45纳米及以上节点生产中缺陷尺寸小,并采用极为复杂的OP
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全球光掩膜检测技术的领军者KLA-Tencor近日宣布,推出TeraScanHR系统——业内首套新一代45纳米生产级光掩膜检测系统。45纳米及以上节点生产中缺陷尺寸小,并采用极为复杂的OPC,这要求检测设备具有极高的分辨率,TeraScanHR满足了这一要求,同时大大改进了生产效率,客户不仅可以获
KLA-Tencor, a global leader in photomask inspection, today announced the TeraScanHR system, the industry’s first new generation of 45nm photomask inspection system. The small size of the defects in 45nm and above nodes and the extremely complex OPC require extremely high resolution of the inspection equipment. TeraScanHR fulfills this requirement and at the same time greatly improves the production efficiency so that customers not only receive
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