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利用蒸发氧化铪和离子辅助蒸发金属铪反应沉积氧化铪薄膜,对两种工艺下制备的氧化铪薄膜进行光学和结构以及激光损伤特性的研究 实验结果表明,用金属铪反应沉积的氧化铪薄膜不仅结构均匀,并且具有较高的激光损伤阈值 文章对损伤阈值和薄膜的结构及光学特性之间的关系进行了讨论.
HfO2薄膜的结构对抗激光损伤阈值的影响
【摘 要】
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利用蒸发氧化铪和离子辅助蒸发金属铪反应沉积氧化铪薄膜,对两种工艺下制备的氧化铪薄膜进行光学和结构以及激光损伤特性的研究 实验结果表明,用金属铪反应沉积的氧化铪薄膜
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心;中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心上海201800;上海201800;上海201800;
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2005年02期
【基金项目】
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国家高技术 863基金资助
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