【摘 要】
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在氧化物限制型垂直腔面发射激光器制备中,刻蚀GaAs/AlGaAs时因异质型材料常出现选择性内蚀现象,这会直接影响后续的氧化工艺及电极钝化的效果。针对因选择性内蚀而出现的“镂空”现象,对湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺进行详细研究,研究结果表明通过调整刻蚀液体积配比和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀下电极射频功率可有效消除“镂空”现象。湿法刻蚀中,当刻蚀液H3PO4-H2O2-H2O各物质体积配比为1∶1∶10时,得到了陡直度较好且光滑的侧壁。ICP干法刻蚀时,通过改变下电极RF功率可调整腔室内的化学刻蚀和物理刻
【机 构】
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长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林长春130022
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在氧化物限制型垂直腔面发射激光器制备中,刻蚀GaAs/AlGaAs时因异质型材料常出现选择性内蚀现象,这会直接影响后续的氧化工艺及电极钝化的效果。针对因选择性内蚀而出现的“镂空”现象,对湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺进行详细研究,研究结果表明通过调整刻蚀液体积配比和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀下电极射频功率可有效消除“镂空”现象。湿法刻蚀中,当刻蚀液H3PO4-H2O2-H2O各物质体积配比为1∶1∶10时,得到了陡直度较好且光滑的侧壁。ICP干法刻蚀时,通过改变下电极RF功率可调整腔室内的化学刻蚀和物理刻蚀的动态平衡,在下电极射频功率为100 W时,“镂空”现象基本消失,且侧壁陡直度大于80°。
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摘 要：近年来，人们的日常生活和工作离不开用电。同时，对电能的可靠性提出了更高的要求，输配电和电力工程的建设管理是非常重要的，这关系到用户的电力安全。输电线路是我国电网建设的主要组成部分，在电力系统运行中起着至关重要的作用，它主要承担电力传输和配电等多项任务。本文分析了输配电和电力工程建设管理的任务，研究了工程建设中存在的问题，提出了解决输配电和电力工程建设中存在的问题的建议，以期促进电力工业的稳定发展。关键词：输配电;用电工程;施工管理由于输配电线路和施工管理的复杂性和专业性，要求运营商具备专业技能。同
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