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洁净室标准ISO 14644—1和2—的简介
洁净室标准ISO 14644—1和2—的简介
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lcxlllwho
【摘 要】
:
介绍了新的洁净室标准ISO 14644-1和-2,它将对洁净室性检测有重要的指导作用。
【作 者】
:
InderjitSingh
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
洁净室标准
ISO
14644-1
ISO14644-2
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介绍了新的洁净室标准ISO 14644-1和-2,它将对洁净室性检测有重要的指导作用。
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