直流热阴极PCVD方法制备碳纳米管的工艺研究

来源 :吉林师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：resway

【摘要】

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文中介绍了以氢气和甲烷作为反应气体，采用直流热阴极PCVD沉积碳纳米管的方法，研究了制备碳纳米管的工艺过程．介绍了沉积碳纳米管的实验设备，给出了制备工艺参数及对基片的选择．在

【作者】

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齐海东高永慧常喜姜志刚

【机构】

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吉林师范大学信息技术学院,吉林大学超硬材料国家重点实验室

【出处】

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吉林师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2009年3期

【关键词】

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PCVD 碳纳米管制备工艺 PCVD carbon nanotubes deposited technology

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文中介绍了以氢气和甲烷作为反应气体，采用直流热阴极PCVD沉积碳纳米管的方法，研究了制备碳纳米管的工艺过程．介绍了沉积碳纳米管的实验设备，给出了制备工艺参数及对基片的选择．在镀有金镍（金镍膜厚分别为20nm／40nm、40nm／40nm、60nm／40nm）复合膜的硅片上仅用十几秒的时间就得到了Y型碳纳米管，碳纳米管的直径在20nm到80nm之间．

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