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建立了共形整流罩的模型结构,分析了其成像特性,并提出了采用加入衍射元件的方法来设计共形整流罩后的校正板,软件模拟结果表明带有衍射面的校正板能够进一步地改善共形整流罩成像质量.
利用衍射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究
【摘 要】
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建立了共形整流罩的模型结构,分析了其成像特性,并提出了采用加入衍射元件的方法来设计共形整流罩后的校正板,软件模拟结果表明带有衍射面的校正板能够进一步地改善共形整流
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院,北京100049,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2007年07期
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