光电信号的高精度数字处理模型研究

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针对膜厚控制系统中的双路光电信号的数字处理和控制分析问题,将传统的数字处理技术进行修正和优化,提出了一套高精度数字处理模型和方案,测试实验表明该方案合理可靠,而且大大提高了膜厚监控系统的稳定性、精度.
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