【摘 要】
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ZnO films with low resistivity and high transmittance in the visible optical region were deposited on GaAs and glass substrates by MOCVD at atmospheric pressure
【机 构】
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InstituteofCrystalMaterials
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ZnO films with low resistivity and high transmittance in the visible optical region were deposited on GaAs and glass substrates by MOCVD at atmospheric pressure using diethyl zinc and tetrahydrofuran as precursors.The X-ray diffraction results revealed th
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