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本文介绍了硅片的加工质量：直径、厚度、平整度、弯曲度、翘曲度等的含意、测量和计算方法，以及其中一些参数之间的关系。最后对硅片激光标记及规范作了概述。
硅片的几何参数及其测试
【摘 要】
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本文介绍了硅片的加工质量：直径、厚度、平整度、弯曲度、翘曲度等的含意、测量和计算方法，以及其中一些参数之间的关系。最后对硅片激光标记及规范作了概述。
【机 构】
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洛阳单晶硅厂
【出 处】
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上海有色金属
【发表日期】
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1994年4期
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