永磁端引出溅射PIG源进展

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介绍了永磁端引出溅射PIG离子源的进展状况,通常它可用于引出气体的与金属的单或多电荷离子,在20-30kV的引出电压下,可引出mA级的气体离子和数十微安的金属离子,功耗小于50W。同时也可用于直接引出某些电子亲合势料强的气体元素,如,H,O,F等的负离子。
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