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用热丝化学气相沉积法在Si(110)和钛合金衬底上沉积了金刚石薄膜。借助扫描电镜、喇曼光谱和X射线衍射等分析手段,研究了灯丝温度和衬底表面预处理对合成金刚石薄膜的影响。灯丝温度超过2300℃时,金刚石薄膜中含有多晶碳化钨,灯丝温度在1500 ̄1800℃之间地,非金属非碳相的含量增加,经预淀积类金刚石薄膜后,金刚石薄膜的形核密度大于机械抛光的形核密度。