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1 SEMI气体标准替代情况1."SEMI C3.18-1102 瓶装二氯二氢硅规范,等级97%"和"SEMI C3.31-1102 瓶装二氯二氢硅规范,等级99%(暂定)"为"SEMI C56-0305 二氯二氢硅(SiH2Cl2)规范和准则"所代替;
现行SEMI气体标准目录
【摘 要】
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1 SEMI气体标准替代情况1."SEMI C3.18-1102 瓶装二氯二氢硅规范,等级97%"和"SEMI C3.31-1102 瓶装二氯二氢硅规范,等级99%(暂定)"为"SEMI C56-0305 二氯二氢硅(SiH2Cl2)规范
【机 构】
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光明化工研究设计院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2005年6期
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