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多晶硅一般采取改良西门子法技术方法生产,其产品质量对电子器件使用性能以及转换电池效率造成影响。为了解决生产多晶硅过程中含碳量较高等问题,本文分析、探索了碳的主要来源、影响因素及控制方法。
多晶硅碳含量对产品质量的影响及处理工艺
【摘 要】
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多晶硅一般采取改良西门子法技术方法生产,其产品质量对电子器件使用性能以及转换电池效率造成影响。为了解决生产多晶硅过程中含碳量较高等问题,本文分析、探索了碳的主要来
【机 构】
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江苏中能硅业科技发展有限公司;
【出 处】
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中国石油和化工标准与质量
【发表日期】
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2004年期
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