基于 PSD的高精度微位移测量系统研究

来源 :光学与光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:billdyj
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为实现对古斯-汉欣位移的精确测量,设计了一个以一维 PSD为核心的位移测量系统。根据 PSD的原理和特性设计了后续的信号处理电路,STC89C52通过 12位 AD芯片 TLC2578采集 PSD输出的位置信号,经过处理传输到液晶 LCD1602,再通过 USB接口传输到上位机,以两种方式进行位移值显示,从而完成测量。实验结果表明,该系统在中心的测量精度较高,边缘的测量精度较低,测量误差在±10μm内。设计的系统不仅可用于对古斯-汉欣位移的测量,也可以用于其他微位移测量的实验中。
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