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利用等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在c面蓝宝石衬底上,在室温条件下制备了非晶InGaZnO薄膜,在其基础上制备了金属-半导体-金属结构紫外探测器,并测量了探测器的光谱响应和时间响应特性。
MSM结构InGaZnO紫外探测器的制备及性能研究
【摘 要】
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利用等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在c面蓝宝石衬底上,在室温条件下制备了非晶InGaZnO薄膜,在其基础上制备了金属-半导体-金属结构紫外探测器,并测量了探测器的光谱响应和
【机 构】
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哈尔滨师范大学
【出 处】
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智富时代
【发表日期】
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2014年12X期
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