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本文介绍了当今国际上高纯化学药品、材料及其发展动态，内容包括初期情况，SEMI技术条件、化学药品的现状、检测设备、专用产品和展望，最后简述了高纯工艺材料正在发生的革命，21世纪将开创材料和化学药品的新纪元。
半导体工业使用的高纯化学药品
【摘 要】
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本文介绍了当今国际上高纯化学药品、材料及其发展动态，内容包括初期情况，SEMI技术条件、化学药品的现状、检测设备、专用产品和展望，最后简述了高纯工艺材料正在发生的革命，21世
【机 构】
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成都亚光电工厂研究所
【出 处】
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电子科技杂志
【发表日期】
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1990年2期
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