【摘 要】
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大面积高质量石墨烯的制备及其改性对于纳电子器件相关研究有重要意义.本文综述了近年来SiC衬底上石墨烯的相关研究,包括外延法制备石墨烯、石墨烯与SiC衬底的作用机理、SiC
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大面积高质量石墨烯的制备及其改性对于纳电子器件相关研究有重要意义.本文综述了近年来SiC衬底上石墨烯的相关研究,包括外延法制备石墨烯、石墨烯与SiC衬底的作用机理、SiC衬底上石墨烯的改性方法以及外延石墨烯在器件等方面应用的重要进展.目前,外延法的工艺较为成熟且制备的较大面积石墨烯品质较好.SiC衬底和石墨烯之间的相互作用与衬底的表面原子种类、表面态、原子成键、钝化程度、电荷转移等密切相关,其对石墨烯的电子能带、载流子种类产生明显影响.实验与理论计算的结合可望加深对SiC衬底与石墨烯作用机理的理解,并指导外延石墨烯改性及其在器件应用方面的进一步研究.
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