p-well/DNW单光子雪崩二极管保护环的最小化设计

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rechardfeng

【摘要】

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为了进一步缩小SPAD探测器的尺寸，基于0.18μm CMOS图像传感器（CIS）工艺对p-well/DNW（deep n-well）SPAD的保护环尺寸进行设计，并制造了不同保护环尺寸的SPAD器件.测试结果表明，保护

【作者】

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杨红姣金湘亮

【机构】

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湘潭大学物理与光电工程学院,湖南省微光电与系统集成实验室

【出处】

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红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2018年5期

【关键词】

：

单光子雪崩二极管(SPAD) 保护环边缘击穿(PEB) 暗计数率(DCR) 光子探测概率(PDP) single photon avalanche diode

【基金项目】

：

Supported by State Key Program of National Natural Science of China(61233010),National Natural Science Foundation of China(61774129,61704145)and Hunan Provincial Natural Science Fund for Distinguished

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为了进一步缩小SPAD探测器的尺寸，基于0.18μm CMOS图像传感器（CIS）工艺对p-well/DNW（deep n-well）SPAD的保护环尺寸进行设计，并制造了不同保护环尺寸的SPAD器件.测试结果表明，保护环尺寸减小到0.4μm仍然能有效防止器件发生过早边缘击穿（PEB），且保护环尺寸对p-well/DNW SPAD器件的暗计数率（DCR）和光子探测概率（PDP）影响较小.直径为20μm的SPAD器件，温度为25℃时暗计数率为638 Hz，且波长为530 nm时峰值光子探测概率为16%，具有

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