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期刊论文
LSIC版图扫描场分割方式的研究
LSIC版图扫描场分割方式的研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangtao870508
【摘 要】
:
对版图扫描场分割方式进行了研究,详细论述了m×nS形扫描场分割方式和任意扫描场分割方式。
【作 者】
:
胡咏梅
胡毅
【机 构】
:
山东工业大学自动化工程系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
版图
扫描场
电子束曝
LSIC
集成电路
Pattern division
Data processing
Electron beam
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对版图扫描场分割方式进行了研究,详细论述了m×nS形扫描场分割方式和任意扫描场分割方式。
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