Electrical Performance of Electron Irradiated SiGe HBT and Si BJT

来源 :材料科学技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qiang860412

【摘要】

：

The change of electrical performances of 1 MeV electron irradiated silicon-germanium (SiGe) heterojunction bipolar transistor (HBT) and Si bipolar junction tran

【作者】

：

WentaoHUANG JilinWANG ZhinongL

【机构】

：

InstituteofMicroelectronics,InstituteofNuclearEnergyTechnology

【出处】

：

材料科学技术：英文版

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

SIGEHBT SiBJT 电子照射电性能半导体 <Keyword>Electron irradiation SiGe HBT Si BJT

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)

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The change of electrical performances of 1 MeV electron irradiated silicon-germanium (SiGe) heterojunction bipolar transistor (HBT) and Si bipolar junction transistor (BJT) was studied. After electron irradiation, both the collector current IC and the bas

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