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在分析单晶硅片的典型加工工艺基础上,介绍了基于工件旋转式磨削法的大直径硅片超精密加工技术的原理及特点,综述了该项技术的试验研究进展及建立的数学模型,分析了有限元法在工件旋转式磨削硅片研究中的应用,最后提出了工件旋转式磨削大直径硅片技术目前存在的问题和今后的发展趋势。
工件旋转式磨削大直径硅片技术的研究进展
【摘 要】
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在分析单晶硅片的典型加工工艺基础上,介绍了基于工件旋转式磨削法的大直径硅片超精密加工技术的原理及特点,综述了该项技术的试验研究进展及建立的数学模型,分析了有限元法
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院
【出 处】
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宇航材料工艺
【发表日期】
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2006年5期
【基金项目】
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江苏省自然科学基金前期预研资助项目（BK2005215）
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