A New Self-assembly Metal CMG Discriminator by Multi-exposure LiGA Like Process and Sacrificial Laye

来源 :Journal of DongHua University | 被引量 : 0次 | 上传用户：ljvael

【摘要】

：

The counter-meshing gears (CMG) discriminator is amechanically ceded lock, which is used to prevent the occurrenceof High Censequence Events. Tnis paper advance

【作者】

：

张卫平陈文元赵小林丁桂甫李胜勇

【机构】

：

KeyLaboratoryforThinFileandMicrofabricationTechnologyofMinistryofEducation

【出处】

：

Journal of DongHua University

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

密码锁反向啮合齿轮鉴别器自组装牺牲层处理 Counter-meshing gears （CMG） discriminator multi-exposur

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The counter-meshing gears (CMG) discriminator is amechanically ceded lock, which is used to prevent the occurrenceof High Censequence Events. Tnis paper advanced a new kind of self- asesembly metal CMG discriminator based on multi-exposure LiGA like proce

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