一种新的GaAs PHEMT器件可靠性评估方法研究

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【摘要】

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通过研究应力前后GaAsPHEMT器件电特性的测量 ,分析了GaAsPHEMT退化的原因 ,从实验中得出高场下碰撞电离的电离率与器件沟道电场峰值的关系曲线 .对高场下碰撞电离率的实验曲

【作者】

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刘红侠郑雪峰韩晓亮郝跃张绵

【机构】

：

西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所,信息产业部十三所西安710071,西安710071,西安710071,西安71

【出处】

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物理学报

【发表日期】

：

2003年10期

【关键词】

：

高电子迁移率晶体管碰撞电离率可靠性评估

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通过研究应力前后GaAsPHEMT器件电特性的测量 ,分析了GaAsPHEMT退化的原因 ,从实验中得出高场下碰撞电离的电离率与器件沟道电场峰值的关系曲线 .对高场下碰撞电离率的实验曲线进行拟合 ,可以得到碰撞电离率与器件沟道电场峰值的量化关系 ,由此可以对GaAsPHEMT器件的电性能和可靠性进行改善和评估 .进一步改进GaAsPHEMT的击穿电压 ,将需要严格控制沟道中的碰撞电离

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