基于Motif参数的线边缘粗糙度评定方法研究

来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Gzliao1

【摘要】

：

针对现有线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)表征参数的不足,提出采用基于Motif参数的LER表征方法.对Motif参数的基本概念和评定流程进行了介绍,并以多层薄膜沉积技术制

【作者】

：

赵凤霞张琳娜郭三刺

【机构】

：

郑州大学机械工程学院

【出处】

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计量技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

线边缘粗糙度评定 Motif参数

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针对现有线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)表征参数的不足,提出采用基于Motif参数的LER表征方法.对Motif参数的基本概念和评定流程进行了介绍,并以多层薄膜沉积技术制备的纳米线宽样板的LER评定为例进行了实验.结果表明:Motif参数无需评定基准,可以在轮廓全域内表征LER的幅度和间距特性,评定结果具有一定的鲁棒性.

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