多晶硅薄膜晶体管泄漏区带间隧穿电流的建模

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户：blackhorse1983

【摘要】

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讨论了带间隧穿(BBT)效应在多晶硅薄膜晶体管所有的泄漏机制中占主导地位的条件因素,说明了在高场或低温情况下,泄漏电流主要来自带间隧穿.考虑了BBT的两个产生区域——栅漏

【作者】

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李树花李斌吴为敬

【机构】

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华南理工大学微电子研究所

【出处】

：

微电子学与计算机

【发表日期】

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2009年3期

【关键词】

：

多晶硅薄膜晶体管带间隧穿效应泄漏区 polysilicon TFT band-to-band tunneling leakage region

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讨论了带间隧穿(BBT)效应在多晶硅薄膜晶体管所有的泄漏机制中占主导地位的条件因素,说明了在高场或低温情况下,泄漏电流主要来自带间隧穿.考虑了BBT的两个产生区域——栅漏交叠处和靠近漏端的PN结耗尽区,分析了陷阱态密度以及掺杂浓度对BBT电流的影响,最后提出了一个适用于多晶硅薄膜晶体管泄漏区的带间隧穿电流模型.

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