国外光刻制版设备发展动态

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：anavelgato234

【摘要】

：

主要述评了近两年来国外光刻制版设备的最新发展动态.新颖的扫描激光掩模制作设备正在迅速地向64M DRAM器件的制版领域渗透,i线片子步进机与移相掩模技术的结合将在0.35微米

【作者】

：

童志义

【机构】

：

电子部第四十五研究所甘肃平凉744000

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

1993年3期

【关键词】

：

光刻制版激光图形发生器片子步进机移相掩模

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主要述评了近两年来国外光刻制版设备的最新发展动态.新颖的扫描激光掩模制作设备正在迅速地向64M DRAM器件的制版领域渗透,i线片子步进机与移相掩模技术的结合将在0.35微米的64M DRAM时代占据优势,潜力巨大的准分子激光步进机与移相掩模的结合将使传统的光学光刻技术于1996年进入0.15微米图形线宽的1GDRAM时代

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