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随着大规模集成电路技术的发展,采用化学腐蚀的方法制备硅尖阵列及其二极管在真空微电子学中已被广泛采纳和应用。本文简要叙述了在各向同性腐蚀和各向异性腐蚀下硅尖形成的基本理论,讨论了硅尖形成的常用方法及其相关技术,扼要地介绍了硅尖阵列及其二极管制备过程中涉及到的重要工艺(如氧化锐化、平面化技术、静电键合和自对准工艺)。