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介绍了离子注入制备n型电池p-n结的工艺原理及工艺特点,通过对n型硅片和p+发射极主要参数进行模拟分析,得到高效n型电池性能参数的范围及趋势;并对比不同离子注入剂量对n型电池p-n结方阻、implied Voc及J0e的影响,确定了制备高质量n型电池p-n结的离子注入剂量。
离子注入技术在n型电池p-n结制备中的应用
【摘 要】
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介绍了离子注入制备n型电池p-n结的工艺原理及工艺特点,通过对n型硅片和p+发射极主要参数进行模拟分析,得到高效n型电池性能参数的范围及趋势;并对比不同离子注入剂量对n型电
【机 构】
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黄河水电光伏产业技术有限公司
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2016年07期
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