【摘 要】
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纳米硅薄膜(nc-Si:H)是由纳米尺寸超细微晶粒构成的一种纳米材料。其晶粒所占体积百分比为50％,其它50％则为大量晶粒之间的界面原子所占据,而界面对纳米材料的结构和物性具有重
【机 构】
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中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所,北京航空航天大学非晶态物理研究室 北京 100080,北京 100080,北京 100080,北京 100080
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纳米硅薄膜(nc-Si:H)是由纳米尺寸超细微晶粒构成的一种纳米材料。其晶粒所占体积百分比为50％,其它50％则为大量晶粒之间的界面原子所占据,而界面对纳米材料的结构和物性具有重要作用。由于纳米硅薄膜结构上的新颖性,使它具有一系列不同于同类物质晶态材料或非晶态材料的特殊性能,有利于在器件中的应用。
Nanocrystalline silicon film (nc-Si: H) is a nano-sized nanocrystalline fine particles composed of a nano-material. The grain size accounted for 50% of the volume, the other 50% is occupied by a large number of interface atoms between the grains, and the interface of nanomaterials structure and physical properties have an important role. Due to the structural novelty of the nano-silicon film, it has a series of special properties that are different from crystalline materials or amorphous materials of the same type, which is beneficial for application in the device.
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