液晶盒间隙厚度测量仪的激光分振幅干涉定标

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本文提出并比较了液晶盒间隙厚度测量仪的三种定标方法,分析表明,激光分振幅干涉法具有准确、稳定、经济、方便、迅速等一系列优点,是最好的定标方法。最后我们作成一光劈并用于实际定标,结果表明定标准确、可靠 This paper presents and compares the three calibration methods of the cell gap thickness measuring instrument. The analysis shows that the laser sub-amplitude interferometry is the best calibration method with a series of advantages of accuracy, stability, economy, convenience and speediness. Finally, we made a light split and used for actual calibration, the results show calibration accurate and reliable
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