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磨粒喷射精密光整加工是重要零件在磨削后进行去除表面缺陷层、降低粗糙度和波纹度为目的光整加工新工艺。试验在M7120磨床上完成,加工试样为Ra0.4~0.6μm的45。钢。加工表面形貌和微观几何参数用SEM和TR200表面轮廓仪测量。本文应用随机过程的互相关性对磨削加工表面和光整加工表面进行了研究。试验结果表明,试样表面从连续的方向一致的沟槽被随机不连续的微坑所代替,表面粗糙度明显得到改善。随着加工循环的增加,Ra值由0.4~0.6μm下降到0.2μm左右。此外,光整加工可以获得各向同性网纹交错的表面,表面