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日本关东电化工业公司最近决定增加三氟化氮（NF3）的生产能力。NF3是一种氟基特种气体，可以用于半导体和液晶制造过程中。在2004年秋，公司已增加了30％左右的生产能力，但公司现决定于2005年秋，进行再一次增产，把生产能力提高到年产1000吨。
日将NF3生产能力扩大到年产1000吨
【摘 要】
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日本关东电化工业公司最近决定增加三氟化氮（NF3）的生产能力。NF3是一种氟基特种气体，可以用于半导体和液晶制造过程中。在2004年秋，公司已增加了30％左右的生产能力，但公司现决定于
【出 处】
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上海化工
【发表日期】
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2005年9期
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