NF3相关论文
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通过对NF3冷凝器的优化设计,采用多层绝热抽真空新技术,针对不同的影响因素,提出了有利于高真空获取与维持的解决方案.并将各种具......
1引言对掺杂晶体,由于杂质离子的大小及其所带电荷与它所替代的基质晶体离子不同,这些杂质离子附近的局部结构和局部性质(如局部热......
日本关东电化工业公司最近决定增加三氟化氮（NF3）的生产能力。NF3是一种氟基特种气体，可以用于半导体和液晶制造过程中。在2004年秋，公......
上期有提到半导体和面板生产当中的NF3问题，今天补充一些新情况。NF3是产业界使用的温室气体PFC（Per Fluoro Compounds，全氟化合物）之......
1．三氟化氮（NF3）是一种无色无味的气体，它是氨（NH3）和氟（F2）在一定条件下直接反应得到：4NH3＋3F2=NF3＋3NH4 F，下列有关NF3的叙述正确的是......
几件 Al2O3 样品被结合的一个降水方法准备没有在 Al2O3 试剂上的水的超声的处理，和 NF3 分解被执行。Al2O3 试剂的准备参数的效果，......
在转变金属氧化物上的 NF3 分解当水不在时的涂的 MgO 试剂被调查。结果证明 NF3 能在纯 MgO 上完全被分解，但是 NF3 稳定的完整的......
用密度泛函B3PW91/6-311＋＋G（d,p）方法研究了全氟温室气体NF3与H自由的脱氟反应机理,对反应势能面上各驻点的几何构型进行了全参数优化,......
德国银行指出，平板显示器和半导体制造业正在驱使三氟化氮(NF3)持续增长。近来，13本Central Gas透露了其扩产计划，将使其NF3能力翻番......
NF3是一种强效温室气体。根据美国Scripps海洋学研究所的研究人员对NF3进行的首次大气测定结果显示，这种用于制造电子设备的人造气......
当在 Al2O3， Fe2O3， Co3O4 和 NiO 上的水不在时的 NF3 分解，和转变金属氧化物(Fe2O3， Co3O4 和 NiO ) 涂的 Al2O3 试剂被调查。结果证......
三井化学公司拟将其电子专用三氟化氮（NF3）的下一步扩建产能计划从原定的600t／a改至800t／a。扩能项目厂址可能选在韩国，预计于2007～2008......
目的探讨中枢支和外周支切断对背根节(DRG)脑源性神经营养因子(BDNF)和神经营养因子(NT-3)表达的影响. 方法将成年雄猫15只分为正......
液晶显示器的需求促进NF3市场继续增长。目前LCD需求仅占NF3市场约20％，但LCD需求估计正在以每年30％速率增长．其他半导体应用仅增长10％。......
介绍SF6、NF3生产中,净化工序产生的含氟废碱液的再生方法,解决了含氟废碱液的环境污染问题,降低了生产成本.......
日本Mitsui Chemicals于2006年9月将开始在日本Yamaguchi省建设一套NF3装置。计划于2007年投产。未获得细节。......
2005年日本国内NF3需用量为632t，比2004年增长5．3％，继续进展势头良好。硅半导体和大的TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）生产的复苏，推动了TF......
台北讯：三氟化氮（NF3）是一种温室气体，但也是半导体及TFTLCD生产制程中重要的工业用气体，由于其具备清洁化学气相沉积（cvD）制程以及干蚀刻......
本文利用色谱/质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定.采用选择离子监测(SIM)方式测定,定量选择离子m/z为69,方法简单、准确、选择......
1故障现象 车型为途锐NF3．0TSI，VIN码为wVGAB97P8CD03＊＊料，里程37km。行驶转向时，仪表出现ABS／侧滑／悬架同时报警，如图1所示。......
选取4英寸的晶元切割制成相同的测试样品．试验研究不同的腐蚀气体，以及混合气体配比腐蚀效果，得到对本试验所生成结构有利的腐蚀介质．......
NF3气体作为半导体工业中的等离子蚀刻剂和化学汽相沉积室的清洗气体在电子工业中发挥着很重要的作用,作为电子气体,对NF3气体的纯......
