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为了研究噪声光对位置敏感探测器测量准确度的影响，首先对3种噪声光进行了描述，然后运用方差分析法建立了位置敏感探测器测量准确度的数学模型，并对系统的误差进行了分析。结果表明，实验数据和计算数据是一致的，此实验结果证明了该数学模型的正确性。
位置敏感探测器测量准确度的研究
【摘 要】
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为了研究噪声光对位置敏感探测器测量准确度的影响，首先对3种噪声光进行了描述，然后运用方差分析法建立了位置敏感探测器测量准确度的数学模型，并对系统的误差进行了分析。结果
【机 构】
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山东理工大学电气与电子工程学院
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2014年6期
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