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电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用
电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hewu0802
【摘 要】
:
概述了在固/液界面微/纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)和扫描电化学显微
【作 者】
:
汤儆
毛秉伟
田中群
【机 构】
:
固体表面物理化学重点实验室
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2003年7期
【关键词】
:
电化学扫描探针显微镜
表面微加工
纳米加工
电化学
工作原理
针尖诱导法
STM AFMSEM
micro/nanofabricationelectroche
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概述了在固/液界面微/纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)和扫描电化学显微镜(SECM)在应用于微/纳米加工时的基本原理和各种方法,并综合比较和分析了这三种技术的优缺点.
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