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期刊论文
数字微镜器件及其应用
数字微镜器件及其应用
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:NF_Frankie
【摘 要】
:
数字微镜器件是一种新型的全数字化的平板显示器件,以其为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。本文将具体介绍数字微镜器件的工作原理、像素结构、制作工艺及
【作 者】
:
刘晓彦
关旭东
【机 构】
:
北京大学微电子研究所
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
数字微镜器件
投影显示技术
平板显示器件
digital micromirror device
project display
MEMS
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数字微镜器件是一种新型的全数字化的平板显示器件,以其为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。本文将具体介绍数字微镜器件的工作原理、像素结构、制作工艺及图像显示原理等。
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