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HSGFET型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3的检测
HSGFET型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3的检测
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liu822517
【摘 要】
:
本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅(Hybrid Suspended Gate即HSG)FET型臭氧传感器的结构与制作.重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O-3敏感性的影响,并对所得实验结果进行了
【作 者】
:
牛文成
吴小晔
梅思滔
谢建湘
那兴波
李华伟
贾芸芳
【机 构】
:
南开大学电子科学系
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
HSGFET
悬浮栅
双敏感膜
双敏感膜
臭氧传感器
纳诺量级
HSGFET ozone sensor
suspended gate
dual sensit
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本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅(Hybrid Suspended Gate即HSG)FET型臭氧传感器的结构与制作.重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O-3敏感性的影响,并对所得实验结果进行了分析比较.
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