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HSGFET型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3的检测
本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅(Hybrid Suspended Gate即HSG)FET型臭氧传感器的结构与制作.重点研究了敏感膜和结构不同的传感器......
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HSGFET
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