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电子束曝光机是研制大规模集成电路的重要设备。它的运行必须由计算机进行控制并提供数据。本文简要地介绍了之类曝光机所需的控制软件及数据处理软件的构成及功能，并介绍了软件开发中的一些考虑。
电子束曝光机的软件系统
【摘 要】
：
电子束曝光机是研制大规模集成电路的重要设备。它的运行必须由计算机进行控制并提供数据。本文简要地介绍了之类曝光机所需的控制软件及数据处理软件的构成及功能，并介绍了软
【机 构】
：
中国科学院电工研究所
【出 处】
：
现代科学仪器
【发表日期】
：
1994年1期
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