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研究了BiFeO3-基铁电薄膜不同制备方法的优缺点，重点分析了脉冲激光沉积法、化学溶液法和磁控溅射法对BiFeO3-基薄膜的漏电流和铁电性能的影响，为将来产业化打下良好的理论基础。
制备技术对BiFeO3-基铁电薄膜性能的影响
【摘 要】
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研究了BiFeO3-基铁电薄膜不同制备方法的优缺点，重点分析了脉冲激光沉积法、化学溶液法和磁控溅射法对BiFeO3-基薄膜的漏电流和铁电性能的影响，为将来产业化打下良好的理论基础
【机 构】
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齐鲁师范学院 山东济南 250013
【出 处】
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科技创业家
【发表日期】
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2013年9期
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